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《微传感器、微机电系统和灵巧器件》[21M]百度网盘|亲测有效|pdf下载
  • 微传感器、微机电系统和灵巧器件

  • 出版社:书香阁图书专营店
  • 出版时间:2004-03
  • 热度:11225
  • 上架时间:2024-06-30 09:38:03
  • 价格:0.0
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内容介绍


基本信息



名:微传感器、微机电系统和灵巧器件       定价:55元      ISBN:9787302081227

作者:加德纳,瓦拉旦,韦德尔卡姆 著      出版社:清华大学出版社   


参考信息(以实物为准)



出版日期:2004-03-01      字数:  

页码:503      版次:       

装帧:平装      开本:


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内容提要


微传感器、微机电系统(MEMS,micro=electro=mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(microsystems)或片上系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。


目录


Preface
About the Authors
Acknowledgments
1 Introduction
2 Electronic Materials and Processing
3 MEMS Materials and their Preparation
4 Standard Microelectronic Technologies
5 Silicon Micromachining:Bulk
6 Silicon Micromachining:Surface
7 Microstereolithography for MEMS
8 Microsensors
9 Introduction to SAW Devices
10 Surface Acoustic Waves in Solids
11 IDT Microsensor Parameter Measurement
12 IDT Microsensor Fabrication
13 IDT Microsensors
14 MEMS-IDT Microsensors
15 Smart Sensors and MEMS
Appendices
Index


作者介绍



文摘



序言