微传感器、微机电系统和灵巧器件

基本信息

书名:微传感器、微机电系统和灵巧器件       定价：55元      ISBN：9787302081227

作者:加德纳,瓦拉旦,韦德尔卡姆 著      出版社：清华大学出版社   

参考信息（以实物为准）

出版日期：2004-03-01      字数：  

页码：503      版次：       

装帧：平装      开本：

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内容提要

微传感器、微机电系统（MEMS，micro=electro=mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（microsystems）或片上系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面，对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

目录

Preface
About the Authors
Acknowledgments
1 Introduction
2 Electronic Materials and Processing
3 MEMS Materials and their Preparation
4 Standard Microelectronic Technologies
5 Silicon Micromachining:Bulk
6 Silicon Micromachining:Surface
7 Microstereolithography for MEMS
8 Microsensors
9 Introduction to SAW Devices
10 Surface Acoustic Waves in Solids
11 IDT Microsensor Parameter Measurement
12 IDT Microsensor Fabrication
13 IDT Microsensors
14 MEMS-IDT Microsensors
15 Smart Sensors and MEMS
Appendices
Index

作者介绍

文摘

序言