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基本信息
书名:微传感器、微机电系统和灵巧器件 定价:55元 ISBN:9787302081227
作者:加德纳,瓦拉旦,韦德尔卡姆 著 出版社:清华大学出版社
参考信息(以实物为准)
出版日期:2004-03-01 字数:
页码:503 版次:
装帧:平装 开本:
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内容提要
微传感器、微机电系统(MEMS,micro=electro=mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(microsystems)或片上系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。
目录
Preface
About the Authors
Acknowledgments
1 Introduction
2 Electronic Materials and Processing
3 MEMS Materials and their Preparation
4 Standard Microelectronic Technologies
5 Silicon Micromachining:Bulk
6 Silicon Micromachining:Surface
7 Microstereolithography for MEMS
8 Microsensors
9 Introduction to SAW Devices
10 Surface Acoustic Waves in Solids
11 IDT Microsensor Parameter Measurement
12 IDT Microsensor Fabrication
13 IDT Microsensors
14 MEMS-IDT Microsensors
15 Smart Sensors and MEMS
Appendices
Index
作者介绍
文摘
序言